晶圓瑕疵檢驗模組
  • 採用低變形低失真光學鏡頭,搭配多角度光源,取得最佳影像,精準檢驗瑕疵。

  • 可查詢生產檢測履歷,立即回饋前端製程。

  • 檢驗項目:刮痕、孔洞、缺角、碰傷、裂紋、變形

關閉